项目名称
项目编号
负责人
开始时间
计划完成日期
新型半导体工艺设备反应腔温度场模拟与设计
40002013201302
邓军
2012-12-01
2013-12-31
新型半导体工艺设备工艺与材料分析研究
40002013201303
韩军
新型半导体工艺设备反应腔气流场模拟与设计
40002013201304
李建军
高质量透明导电膜制备工艺研发
40002013201207
徐晨
2012-11-05
2013-06-30
GaN集成显示技术研究
40002013201206
郭伟玲
2012-11-01
2016-11-30
新型单光子探测器机理研究
3B002013201201
郭霞
2012-09-01
2014-08-31
大功率半导体激光器芯片外延与制备技术研发
46002013201201
崔碧峰
2012-07-01
新型硅基四端口微纳光子耦合器的关键技术研究
X0002013201201
刘克
2012-06-01
2013-05-31
非极性面GaN厚膜的HVPE生长技术及其物性研究
X0002013201202
陆羽
2013-05-01
红外探测工艺制备2
40002013201202
沈光地
2012-04-01
2012-12-31
高迁移率COMS新结构器件的研究
40002013201301
刘莹
2012-03-01
3B002013201301
2012-01-01
2014-12-31
科研基地—重点实验室—省部共建光电子技术教育部重点实验室
JG002013201201
基于氧化锌与氮化镓直接键合的垂直结构发光二极管
JC002013201301
朱彦旭
JC002013201202
基于GaN基 HEMT隔膜力-电耦合机制的红外探测器研究
11002013201102
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